作为净化车间的分类方法,一般根据室内气流形状进行划分。按此方法,净化车间大致可分为以下三类。
1.垂直层流型(降流模式)
这是一种将HEPA或ULPA过滤器安装在天花板上,从上到下直接面向地面,以相同的速度向净化车间提供清洁空气的方式。这种设备体积大,成本高,但作为净化车间的性能,无论从哪个方面来说都是好的。
2.水平层流型(交叉流型)
这是一种将HEPA或ULPA过滤器安装在墙板上,以同样的速度向对面墙壁提供清洁空气的方式。由于是水平层流,与气流的上流侧相比,下流侧的清洁度较低。但与垂直层流相比,它具有设备小、成本低的特点。
3.非层流型(常规型)
与上述层流形式相比,其设备成本要低得多,但由于非层流部分,室内气流紊乱,颗粒漂浮在空中,难以保证高清洁度。M3.5(100)和M4.5(1000)在洁净度要求达到M3.5和M4.5的情况下,大部分都能达到层流型。