无尘净化车间可分为六个等级。分别为1级、10级、100级、1000级、10000级和100000级:
一级无尘车间主要用于制造一些集成电路的微电子行业,而相对于集成电路的精确要求是亚微米。
10级洁净室主要用于加工宽度小于2微米的半导体工业。
很多人认为100级无尘车间是最常用、最重要的,人们错误地认为100级洁净室,是为了说明对无菌环境的要求较高。一般来说,100级洁净室用于医药行业的无菌制造,主要用于手术,就像它可以用于骨髓移植患者术后的隔离治疗一样。
1000级一般用于生产优质光学产品。
一万级无尘车间主要用于装配液压设备或积压设备。当然,有时也用于食品饮料行业,在医疗行业也很常见。
一万级无尘车间,在许多工业部门都会使用,就像在制造光学产品时,有时也用于制造较小的部件一样。当然,在食品和饮料的加工中,医药行业的生产也将使用这一级无尘车间。
我们所说的无尘车间是一种人工环境,其中所含的颗粒远远低于一般环境,随着集成电路技术的迅速发展,对制造环境(无尘车间)洁静度的要求也越来越高,在工业上,即使颗粒尺寸小于1微米,也会阻碍产品的运行或降低其使用寿命。由于奈米技术的兴起,半导体的关键尺寸不断缩小,集成电路的积累度不断增加,灰尘颗粒更容易使芯片失效或可靠性恶化。举例来说,当金属尘粒落到金属导线上时,就会造成金属导线短路。另外,酸性离子化合物的尘粒掉落在金属导线上,有腐蚀的可能性,因此洁净现场是集成电路制造不可或缺的要素。
越是排在前面,等级越高,1级是最高的,最常见的是百级到十万级。洁净室的使用要求:保持洁净室的洁净度,进出人员有一定的穿着规定;10000级和100000级,必须穿长袍洁净室、洁净室、帽子和面罩;1000级以上(含),必须穿特殊洁净室、洁净室包裹全身,并带手套和面罩。