无尘车间的温度检验有功用温度检验和一般温度检验。功用温度检验首要用于无尘车间需严格控制温度精度时或建造方要求在“静态”或“动态”进行检验时使用;一般温度检验首要使用于“空态”时温度检验。
无尘车间功用温度检验,应将洁净区划分为等面积的栅格,每个分格面积不超越100平方米或与建造方洽谈确定,每格测点1个以上,每个房间测点至少2个。检验高度应为工作面高度,距的吊顶、墙面和地上不小于300MM,并应考虑热源等的影响,测量时间应至少1H,并至少6min测量一次,读数安稳后做好记载。无尘车间一般温度检验的测点,每个温度控制区或每个房间1个测点,检验点高度宜为工作面高度,测量时间应至少1H,并至少6min测量一次,读数安稳后做好记载。
无尘车间湿度检验:湿度检验可采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。