主要生产比较精密电子元件,要求洁净度较高,及温湿度都有要求,大部分生产半导体元件,都采用千级的洁净环境车间生产
一、洁净等级要求
洁净度等级:符合ISO 14644-1标准,通常在ISO 8级别以上。
空气中颗粒物浓度:每立方米中大于或等于0.35微米的颗粒物数量不超过35万颗;每立方米中大于或等于5微米的颗粒物数量不超过2000颗;也有说法为每立方米中大于或等于0.5微米的粒子不超过35万个,大于或等于5微米的粒子数不超过2000个。
微生物控制:空气中微生物的总菌落数应符合相关标准要求,每立方米浮游细菌最大允许数量一般不超过1000个菌落形成单位,也有说法为不超过100个;同时,应定期对车间内空气进行微生物监测和检测,确保生产环境符合卫生标准。
二、温湿度控制
温度:通常控制在18°C26°C之间,一般设置在22°C左右,以适应人员的工作需求。也有说法为控制在20°C25°C之间。
湿度:相对湿度控制在45%65%之间,确保空气湿度适宜,有利于保持洁净度和生产设备的正常运行。也有说法为控制在30%60%之间。
三、气流速度与分布
空气流速:一般在0.3m/s0.5m/s之间,以保证空气流动的稳定性和洁净度的均匀性。也有说法为在0.3m/s0.45m/s之间。
气流分布:确保空气流动的方向和速度符合洁净车间内各个区域的要求,避免交叉污染。
,